Reinraum Luftkissen-Transportsystem
ISO-Reinraumklasse 5...8
(US. Fed. Stand. Kl. 100 ...100’000)
- ideal geeignet für flache Substrate wie: CD, DVD, Display, Flachglas, etc.
- Transportlänge bis 10 m
- flexibles stop-and-go System
- Reinstluft-Tragfilm
- Reinstluft-Transportdüsensystem
- voll integrierte Substrat-Durchlicht-Inspektion
- Pufferstrecken
- voll integrierte Substratüberwachung
- Transportgeschwindigkeit max. 2 m/s