Carrier Transportsystem

Reinraum Transport-Conveyor
ISO-Reinraumklasse 5...8 
(US. Fed. Stand. Kl. 100 ...100’000)

• Transportlänge bis 6 m
• flexibles stop-and-go System
• Transportwagen mit Substrataufnahmen
• Substrataufnahmen wahlweise: drehbar, aufsteckbar, sterilisierbar
• voll integrierte Substrat Durchlicht-Inspektion
• Pufferstrecken bis zu 10 Transportwagen
• voll integrierte Transportwagen- und Substratüberwachung
• unten liegende Transportwagen-Rückführung
• Transportgeschwindigkeit max. 0,5 m/s